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石英坩埚的变形会有什么影响

编辑:连云港苏创石英制品有限公司时间:2018-08-23

       石英坩埚变形后,在拉晶过程中随着埚位的上升,石英坩埚变形的凸出部分将碰撞到

导流筒,影响或无法继续正常的拉晶。  

       溶料中发生挂边造成的石英坩埚变形,坩埚上口向内凸出过多,当熔完料埚位上升到

正常引晶位置时,已碰撞到导流筒,这将直接导致不能拉晶的严重后果。 

       熔料中发生鼓包且鼓包较大时,在拉晶过程中随着液位的下降,鼓包会渐渐露出液面

,这时已经拉出的晶棒会碰擦鼓包,如不及时停炉会发生晶棒跌落的严重事故。 


       可能的原因:  

       装料方法不当,在液位线上的料与石英坩埚的接触呈面接触状态,这在熔料过程中容

易发生挂边导致坩埚变形。坩埚最上部全部装了碎小细料,这在熔料时易发生下部已溶完,

上部呈结晶状态而造成坩埚变形。  

        熔料时温度过高或时间过长,由于硅熔点为1420℃,一般的熔料温度在1550~1600℃左

右,如果熔料温度过高,在熔料过程中极易发生变形。 

         石英坩埚变形对拉晶的影响  石英坩埚变形后,轻则影响正常拉晶,严重时将无法拉

晶。石英坩埚变形后,在拉晶过程中随着埚位的上升,石英坩埚变形的凸出部分将碰撞到

导流筒,影响或无法继续正常的拉晶。溶料中发生挂边造成的石英坩埚变形,坩埚上口向内

凸出过多,当溶完料埚位上升到正常引晶位臵时,已碰撞到导流筒,这将直接导致不能拉晶

的严重后果。溶料中发生鼓包且鼓包较大时,在拉晶过程中随着液位的下降,鼓包会渐渐露出液面,这时已经拉出的晶棒会碰擦鼓包,如不及时停炉会发生晶棒跌落的严重事故。