石英坩埚的变形会有什么影响

       石英坩埚变形后，在拉晶过程中随着埚位的上升，石英坩埚变形的凸出部分将碰撞到

导流筒，影响或无法继续正常的拉晶。  

       溶料中发生挂边造成的石英坩埚变形，坩埚上口向内凸出过多，当熔完料埚位上升到

正常引晶位置时，已碰撞到导流筒，这将直接导致不能拉晶的严重后果。 

       熔料中发生鼓包且鼓包较大时，在拉晶过程中随着液位的下降，鼓包会渐渐露出液面

，这时已经拉出的晶棒会碰擦鼓包，如不及时停炉会发生晶棒跌落的严重事故。 

       可能的原因：  

       装料方法不当，在液位线上的料与石英坩埚的接触呈面接触状态，这在熔料过程中容

易发生挂边导致坩埚变形。坩埚最上部全部装了碎小细料，这在熔料时易发生下部已溶完，

上部呈结晶状态而造成坩埚变形。  

        熔料时温度过高或时间过长，由于硅熔点为1420℃，一般的熔料温度在1550~1600℃左

右，如果熔料温度过高，在熔料过程中极易发生变形。 

         石英坩埚变形对拉晶的影响  石英坩埚变形后，轻则影响正常拉晶，严重时将无法拉

晶。石英坩埚变形后，在拉晶过程中随着埚位的上升，石英坩埚变形的凸出部分将碰撞到

导流筒，影响或无法继续正常的拉晶。溶料中发生挂边造成的石英坩埚变形，坩埚上口向内

凸出过多，当溶完料埚位上升到正常引晶位臵时，已碰撞到导流筒，这将直接导致不能拉晶

的严重后果。溶料中发生鼓包且鼓包较大时，在拉晶过程中随着液位的下降，鼓包会渐渐露出液面，这时已经拉出的晶棒会碰擦鼓包，如不及时停炉会发生晶棒跌落的严重事故。