联系电话:0518-87796269
公司传真:0518-87796268
邮箱地址:15062975766@163.com
手机号码:15062975766
公司网站:http://www.scquartz.cn/
联系地址:连云港市东海县经济开发区西区
石英坩埚的变形会有什么影响
石英坩埚变形后,在拉晶过程中随着埚位的上升,石英坩埚变形的凸出部分将碰撞到
导流筒,影响或无法继续正常的拉晶。
溶料中发生挂边造成的石英坩埚变形,坩埚上口向内凸出过多,当熔完料埚位上升到
正常引晶位置时,已碰撞到导流筒,这将直接导致不能拉晶的严重后果。
熔料中发生鼓包且鼓包较大时,在拉晶过程中随着液位的下降,鼓包会渐渐露出液面
,这时已经拉出的晶棒会碰擦鼓包,如不及时停炉会发生晶棒跌落的严重事故。
可能的原因:
装料方法不当,在液位线上的料与石英坩埚的接触呈面接触状态,这在熔料过程中容
易发生挂边导致坩埚变形。坩埚最上部全部装了碎小细料,这在熔料时易发生下部已溶完,
上部呈结晶状态而造成坩埚变形。
熔料时温度过高或时间过长,由于硅熔点为1420℃,一般的熔料温度在1550~1600℃左
右,如果熔料温度过高,在熔料过程中极易发生变形。
石英坩埚变形对拉晶的影响 石英坩埚变形后,轻则影响正常拉晶,严重时将无法拉
晶。石英坩埚变形后,在拉晶过程中随着埚位的上升,石英坩埚变形的凸出部分将碰撞到
导流筒,影响或无法继续正常的拉晶。溶料中发生挂边造成的石英坩埚变形,坩埚上口向内
凸出过多,当溶完料埚位上升到正常引晶位臵时,已碰撞到导流筒,这将直接导致不能拉晶
的严重后果。溶料中发生鼓包且鼓包较大时,在拉晶过程中随着液位的下降,鼓包会渐渐露出液面,这时已经拉出的晶棒会碰擦鼓包,如不及时停炉会发生晶棒跌落的严重事故。
上一条: 石英片工艺设计排片、镀膜夹具是什么样子?
下一条: 石英加热管的加热工作原理